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GEM(Generic Equipment Model) SECS 프로토콜은 통신을 위한 최소한의 규약만을 제공했다. 때문에 장비에서 동작하는 다양한 기능을 표준화하지는 못했다. 모든 반도체 장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만, 그 동작 방식이나 사용하는 메세지가 모두 상이한 부분이 존재하기 때문에 SEMI에서는 장비의 동작에 대한 시나리오와 이때 사용되는 메세지를 묶어 장비 구동에 관한 표준을 마련하였다. 이 표준을 E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment이라 하며, 이를 줄여 GEM(Generic Equipment Model)이라고 부른다. GEM에서는 기능에 따른 장비의 구동 시나리오를 지정하고, 이..
1. HSMS 정의 SECS-I RS-232C 통신을 대체하기 위해 만들어진 프로토콜로, RS-232보다 더 빠른 Ethernet기반 TCP/IP를 사용하는 프로토콜이다. HSMS는 SECS-II 영역은 그대로 두고, SECS-I 부분만을 대체하였다. TCP/IP를 사용하기 때문에 SECS-I의 Check Sum 필드를 제거 하였으며, 대용량 전송이 가능해졌다(최대 4GByte). 2. HSMS Header Control Message : 상태를 제어하는데 사용되는 영역 Stype(Session Type) Active & Passive HSMS에는 Active Mode와 Passvice Mode가 존재 Active Mode는 연결을 요청하는 주체이며, Passive Mode는 연결을 기다리는 주체이다. ..
1. SECS-II(SEMI E5) 정의 실제 송수신 되는 Data 영역에 대한 규약을 정의한 프로토콜 이다. SECS-II는 STREAM, FUNCTION을 통해 메시지의 포맷을 결정한다. 2. SECS-II(SEMI E5) 구조 Number of Length Byte Length Byte를 얼마나 사용할 것 인지를 표시한다. 즉, Length Byte는 Item Body의 Byte 범위를 나타낸다. 00, 01, 10, 11로 표시하며 각각 00~FF 까지 크기를 나타낸다. Item Body : Item Format Code에 맞는 데이터를 표시한다. Item Format Code : SECS-II 표준 문서에 정의 되어 있는 Item Format Code를 나타낸다. 3. SECS-II(SEMI E..
1. SECS-I(SEMI E4) 정의 반도체 장비와 상위 Host 간의 Message를 주고 받기 위한 통신 Interface를 정의한 사양 2. SECS-I(SEMI E4) 특징 비 동기식 양방향 통신(Asynchronous, Bi-directional) RS-232C 실제 전송은 하나의 start 비트와 Stop 비트를 갖는 8-bit 직렬 전송(8-bit byte Data 교환은 Block을 이용, 각 Block은 Header를 가짐 하나의 완전한 전송 단위를 Message라 하며 1~32,767 Block으로 구성 Message는 Stream과 Function에 의해 구분되며, 여러 개의 List와 Item으로 구성 1 Block = Header(10Byte) + Data(Max 254Byte)..
