SECS #1 - SECS Protocol

2021. 4. 21. 14:07

SEMI Equipment Communications Standard

반도체 장비 사이의 통신을 규정하는 표준 규약으로 일반적으로 SECS-Ⅰ, SECS-Ⅱ와 HSMS를 묶어서 SECS 프로토콜이라 부른다. 여기서 SECS-Ⅱ는 실제 통신 되는 데이터에 대한 규약이고, SECS-Ⅰ과 HSMS는 SECS-Ⅱ 데이터를 RS-232C와 Ethernet을 통해 전송하기 위한 규약이다.

 

 

 

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