SECS #2 - SECS-I(SEMI E4)

1. SECS-I(SEMI E4) 정의

• 반도체 장비와 상위 Host 간의 Message를 주고 받기 위한 통신 Interface를 정의한 사양

 

2. SECS-I(SEMI E4) 특징

• 비 동기식 양방향 통신(Asynchronous, Bi-directional)
• RS-232C
• 실제 전송은 하나의 start 비트와 Stop 비트를 갖는 8-bit 직렬 전송(8-bit byte
• Data 교환은 Block을 이용, 각 Block은 Header를 가짐
• 하나의 완전한 전송 단위를 Message라 하며 1~32,767 Block으로 구성
• Message는 Stream과 Function에 의해 구분되며, 여러 개의 List와 Item으로 구성
  • 1 Block           = Header(10Byte) + Data(Max 254Byte)
  • 1 Message      = 1 ~ 32,767 Blocks
  • 1 Transaction = request message + reply message(Optional)

 

SECS-I Message Structure

 

3. STREAM & FUNTION

• 스트림(stream)은 유사하거나 관련된 활동들을 지원하기 위한 메시지들의 범주이다.
• 기능(function)은 스트림(stream)내에서 특정 활동에 대한 특정 메시지 이다. SECS-Ⅱ에서 사용되는 모든 기능(function)들은 주(primary) 메시지와 부(secondary) 메시지 쌍에 부합하는 넘버링 관례를 따른다. 모든 주(primary) 메시지는 홀수로 부여된 기능(function) 코드를 부여 받는다. 응답 메시지 기능(function) 코드는 주(primary) 메시지 기능(function) 코드에 1을 더함으로써 결정된다. 주(primary) 메시지 뒤따르는 짝수는 응답이 예약되어 있지 않으면 응답이 없다는 것을 의미한다. 기능(function) 코드 0은 모든 스트림(stream)에서 트랜젝션(transaction)을 하지 않는다는 것을 의미한다.
• 스트림 0 및 기능 0(stream 0 and function 0) – 스트림(stream) 0은 항상 사용하지 않는 것으로 정의 된다. 0은 대부분 오류이기 때문에 스트림(stream) 0 에서 정의되는 기능(function)은 없다.

 

 

 

4. TRANSCATION

SECS Protocol Message Transcation

• 메시지는 요청과 응답의 한 쌍으로 구성되며 이들을 하나의 트랜잭션이라 부른다.
• 트랜젝션(transaction)은 모든 정보 교환의 기초를 형성하고, 응답이 필요 없는 주(primary) 메시지나 응답과 그에 상응하는 부(secondary) 메시지를 함께 요청 하는 주(primary) 메시지로 이루어 진다. 부(secondary) 메시지는 응답을 요청할 수 없다

 

 

5. BLOCK 구조

SECS protocol Block Structure

 

 

6. HEADER 구조

SECS Protocol Header Structure

 

 

7. PROTOCOL PARAMETERS

 

 

8. DATA 포맷

SECS Protocol Message Spec