SECS #5 - GEM(SEMI E30)
2021. 4. 21. 16:17
GEM(Generic Equipment Model)
SECS 프로토콜은 통신을 위한 최소한의 규약만을 제공했다. 때문에 장비에서 동작하는 다양한 기능을 표준화하지는 못했다. 모든 반도체 장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만, 그 동작 방식이나 사용하는 메세지가 모두 상이한 부분이 존재하기 때문에 SEMI에서는 장비의 동작에 대한 시나리오와 이때 사용되는 메세지를 묶어 장비 구동에 관한 표준을 마련하였다. 이 표준을 E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment이라 하며, 이를 줄여 GEM(Generic Equipment Model)이라고 부른다. GEM에서는 기능에 따른 장비의 구동 시나리오를 지정하고, 이 사나리오에 따라 필요한 SECS-II 메세지를 선정하여 표준으로 삼고있다 .
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